曲阜师范大学：新能源材料与器件专业《薄膜材料与技术》课程教学大纲

曲华師范大学课程教学大纲学院：物理工程学院课程名称：薄膜材料与技术英文名称：Thin-FilmMaterials&Techniques课程代码：74632课程性质：专业选修课计划学时：理论：18实践/实验：18学2分：1-18周授课时间：授课地点：适用专业：新能源材料与器件执笔人：毕翠霞审核人：批准人：毕翠霞毕翠霞课程负责人：授课教师：日修订日期：2023年7月18

学 院： 物理工程学院 课程名称： 薄膜材料与技术 英文名称：Thin-Film Materials & Techniques 课程代码： 74632 课程性质： 专业选修课 计划学时：理论：18 实践/实验 ： 18 学 分： 2 授课时间： 1-18 周 授课地点： 适用专业： 新能源材料与器件 执笔人： 毕翠霞 审核人： 批准人： 课程负责人： 毕翠霞 授课教师： 毕翠霞 修订日期： 2023 年 7 月 18 日

《》课程教学大纲一、课程简介薄膜材料与技术是材料科学中一个重要的方向，通过本课程的学习，学生不但应对薄膜材料的基本概念和物理化学性质有比较系统的理解，而且应能掌握制备薄膜材料的常用方法，了解其在能源、环境、信息、航空航天、电子器件等国民经济主要行业和领域中发挥的重要作用，培养学生解决一般薄膜材料与技术问题所必需的逻辑思维能力，为今后从事薄膜等材料方面的生产和研究，以及进一步的深造奠定基础。学生学习本课程需要修读的先行课程有材料科学基础、固体物理等课程。二、课程目标1.通过系统讲授薄膜材料与技术的基础知识，使学生掌握薄膜制备的技术和薄膜生长的物理过程，薄膜的力学、电学、磁学等物理性质，了解薄膜材料与技术的发展概况以及对人类未来发展的影响。2.通过学习薄膜材料结构性质的表征测试方法，使学生能够系统的了解各种常用的材料表征仪器设备，理解薄膜制备工艺技术和薄膜特征参数之间的关联性，学会运用科学的思维和研究方法分析问题、解决问题。3.通过薄膜材料制备工艺的学习，培养学生能够把薄膜材料与技术的基础理论和薄膜材料的制备方法、工艺、表征技术、性能测试、应用与发展紧密结合，建立科学、技术与应用紧密结合的现代科技思维、理念和研究行为规范。4.培养学生主动查阅、整理文献的习惯，在阅读与整理文献的过程中形成批判性思维，培养终身学习的能力，提高利用信息技术获取及处理信息的能力，了解薄膜材料发展前沿的先进思想与技术，为将来运用薄膜材料与技术的发展推动信息科学和现代高科技的发展打下坚实的基础。表1：课程目标与毕业要求具体指标点的对应关系表课程目标.XXX...课程目标课程目标课程目课程目标1课程目标2课程目标3毕业要求指标点标41/9

《 》课程教学大纲 1 / 9 一、课程简介 薄膜材料与技术是材料科学中一个重要的方向，通过本课程的学习，学生不但应对 薄膜材料的基本概念和物理化学性质有比较系统的理解，而且应能掌握制备薄膜材料的 常用方法，了解其在能源、环境、信息、航空航天、电子器件等国民经济主要行业和领 域中发挥的重要作用，培养学生解决一般薄膜材料与技术问题所必需的逻辑思维能力， 为今后从事薄膜等材料方面的生产和研究，以及进一步的深造奠定基础。学生学习本课 程需要修读的先行课程有材料科学基础、固体物理等课程。 二、课程目标 1.通过系统讲授薄膜材料与技术的基础知识，使学生掌握薄膜制备的技术和薄膜生 长的物理过程，薄膜的力学、电学、磁学等物理性质，了解薄膜材料与技术的发展概况 以及对人类未来发展的影响。 2.通过学习薄膜材料结构性质的表征测试方法，使学生能够系统的了解各种常用的 材料表征仪器设备，理解薄膜制备工艺技术和薄膜特征参数之间的关联性，学会运用科 学的思维和研究方法分析问题、解决问题。 3.通过薄膜材料制备工艺的学习，培养学生能够把薄膜材料与技术的基础理论和薄 膜材料的制备方法、工艺、表征技术、性能测试、应用与发展紧密结合，建立科学、技 术与应用紧密结合的现代科技思维、理念和研究行为规范。 4.培养学生主动查阅、整理文献的习惯，在阅读与整理文献的过程中形成批判性思 维，培养终身学习的能力，提高利用信息技术获取及处理信息的能力，了解薄膜材料发 展前沿的先进思想与技术，为将来运用薄膜材料与技术的发展推动信息科学和现代高科 技的发展打下坚实的基础。 表 1：课程目标与毕业要求具体指标点的对应关系表 课程目标 课程目标 1：XXX. . 课程目标 毕业要求指标点 课程目标 1 课程目标 2 课程目标 3 课程目 标 4

<》课程教学大纲1-1掌握解决材料工程问题的薄膜材料与技术基本知识，并能运用相关知识建立工程模型并运用。1-2掌握自然科学基本知识，并能运用相关知识建毕业要求1：立复杂材料工程问题的物3VV工程知识理模型并提出解决思路。1-3掌握基本的工程知识，并运用相关知识模拟复杂材料工程问题，并提出复杂材料工程问题的解决方案。2-1：系统掌握薄薄膜材料与技术的基本知识，会运用科学的思维和研究方法分析问题、解决问题。2-2：实现由学习知识、技能到进行科学研究的初步转变，将薄膜材料与技术知识运用于能源、器件及毕业要求2相关领域学科中的科学现yY问题分析象的解释，为今后的科学实验和生产实践奠定良好的理论基础。2-3能够根据实际问题，通过文献研究结合工程实践，正确运用薄膜材料与技术知识实现在现代信息技术中的应用。3-1：了解与薄膜材料与技术相关的设计新方法、新概念、新设备，薄膜材料与技术工程中存在的问题和发展趋势。毕业要求33-2：具有针对复杂工程问设计/开发解题的材料工艺和设备的设决方案计能力，并对工艺和设备进行调整、优化和改进的基本能力。能够在设计过程中考虑社会、安全等因素。毕业要求4：4-1：了解与薄膜材料相关VVV研究的新技术、新工艺和新设2 / 9

《 》课程教学大纲 2 / 9 毕业要求 1 ： 工程知识 1 - 1 掌握解决材料工程问 题的薄膜材料与技术基本 知识，并能运用相关知识 建立工程模型并运用 。 1 - 2 掌握自然科学基本知 识，并能运用相关知识建 立复杂材料工程问题的物 理模型并提出解决思路。 1-3 掌握基本的工程知识， 并运用相关知识模拟复杂 材料工程问题，并提出复 杂材料工程问题的解决方 案。 √ √ √ √ 毕业要求 2 ： 问题分析 2 - 1 ：系统掌握薄薄膜材料 与技术的基本知识，会运 用科学的思维和研究方法 分析问题、解决问题。 2-2：实现由学习知识、技 能到进行科学研究的初步 转变，将薄膜材料与技术 知识运用于能源、器件及 相关领域学科中的科学现 象的解释 ,为今后的科学 实验和生产实践奠定良好 的理论基础。 2-3能够根据实际问题，通 过文献研究结合工程实 践，正确运用薄膜材料与 技术知识实现在现代信息 技术中的应用 。 √ √ √ √ 毕业要求 3 设计 /开发解 决方案 3 - 1：了解与薄膜材料与技 术相关的设计新方法、新 概念、新设备，薄膜材料与 技术工程中存在的问题和 发展趋势。 3-2：具有针对复杂工程问 题的材料工艺和设备的设 计能力，并对工艺和设备 进行调整、优化和改进的 基本能力。能够在设计过 程中考虑社会、安全等因 素。 √ √ √ 毕业要求 4 : 研究 4 - 1 ：了解与薄膜材料相关 的新技术、新工艺和新设 √ √ √ √

《》课程教学大纲备的研发现状、存在问题和发展趋势。4-2：掌握薄膜材料与技术工程研究的科学原理和方法，合理的设计实验、收集实验数据，对实验结果进行分析，综合信息得到合理有效的结论。能按正确的格式馕写材料工程技术方面的报告和设计文稿。（注：部分课程课程想实现毕业要求之外的课程目标，也是允许的，针对这种个别的例外情况，要说明其不针对毕业要求指标点。）三、教学内容各教学单元有明确的学习目标，描述以学生为主语，使用行为动词。表2：课程目标与教学内容和教学方法的对应关系表教学学时课程课程目课程目日课程目周次章节内容提要期分配方法目标 1标2标 3 标41.使学生了解薄膜材料与技术的发展PPT讲授绪论：薄史;课堂讨论膜材料与212.薄膜材实例分析技术概述料在现代课堂练习科技中的重要作用。1.要求学生掌握薄第一章：膜的基本PPT讲授薄膜材料概念及分课堂讨论类。的定义、221N实例分析2.学生要分类及应课堂练习用了解薄膜的应用并能举例。PPT讲授1.使学生第二章：课堂讨论真空技术理解真空3-4Yt4V实例分析基础的概念和课堂练习3 / 9

《 》课程教学大纲 3 / 9 备的研发现状、存在问题 和发展趋势。 4-2：掌握薄膜材料与技术 工程研究的科学原理和方 法，合理的设计实验、收集 实验数据，对实验结果进 行分析，综合信息得到合 理有效的结论。能按正确 的格式馔写材料工程技术 方面的报告和设计文稿。 （注：部分课程课程想实现毕业要求之外的课程目标，也是允许的，针对这种个别的例外情况，要 说明其不针对毕业要求指标点。） 三、教学内容 各教学单元有明确的学习目标，描述以学生为主语，使用行为动词。 表 2：课程目标与教学内容和教学方法的对应关系表 周次 日 期 章节 内容提要 学时 分配 教学 方法 课程 目标 1 课程目 标 2 课程目 标 3 课程目 标 4 1 绪论：薄 膜材料与 技术概述 1.使学生 了解薄膜 材料与技 术的发展 史； 2.薄膜材 料在现代 科技中的 重要作 用。 2 PPT 讲授 课堂讨论 实例分析 课堂练习 √ √ 2 第一章： 薄膜材料 的定义、 分类及应 用 1．要求学 生掌握薄 膜的基本 概念及分 类。 2.学生要 了解薄膜 的应用并 能举例。 2 PPT 讲授 课堂讨论 实例分析 课堂练习 √ √ 3-4 第二章： 真空技术 基础 1.使学生 理解真空 的概念和 4 PPT 讲授 课堂讨论 实例分析 课堂练习 √ √ √

《》课程教学大纲基本物理特性。2.掌握真空获得和测量的方法。1.理解真空蒸发镀膜的基本原理及过程。2.要求学生掌握溅射镀膜的基本概念和物理机制。3.要求学第三章：PPT讲授生掌握化薄膜材料课堂讨论学气相沉5-8W8YY的制备技实例分析积法的基术课堂练习本原理、过程、特点及实验装置。4.要求学生掌握溶液镀膜法的基本原理及特点，包括溶胶-凝胶法等。1.要求学生掌握薄第四章：PPT讲授膜生长的薄膜材料课堂讨论基本过程， 9-116V的形成和实例分析薄膜生长生长课堂练习的成核理论。4/9

《 》课程教学大纲 4 / 9 基本物理 特性。 2.掌握真 空获得和 测量的方 法。 5 - 8 第三章： 薄膜材料 的制备技 术 1.理解真 空蒸发镀 膜的基本 原理及过 程。 2.要求学 生掌握溅 射镀膜的 基本概念 和物理机 制。 3.要求学 生掌握化 学气相沉 积法的基 本原理、 过程、特 点及实验 装置。 4.要求学 生掌握溶 液镀膜法 的基本原 理及特 点，包括 溶胶 -凝胶 法等。 8 PPT 讲授 课堂讨论 实例分析 课堂练习 √ √ √ 9-11 第四章： 薄膜材料 的形成和 生长 1. 要求学 生 掌握薄 膜生长的 基本过程， 薄膜生长 的成核理 论。 6 PPT 讲授 课堂讨论 实例分析 课堂练习 √ √ √

《》课程教学大纲2.要求学生掌握薄膜生长模式和连续薄膜形成机制。1.使学生理解薄膜分析方法的基本原理。第五章：PPT讲授薄膜材料2.要求学课堂讨论12-146NN的表征方生掌握薄实例分析法膜厚度、课堂练习形貌、成分、结构等分析方法。1.要求学生掌握薄膜的力、电、磁等物理性PPT讲授第六章：质。课堂讨论薄膜材料2.使学生15-16YJ4实例分析的性质了解半导课堂练习体、磁性、超导薄膜的特性及薄膜的应用。1.要求学生熟悉薄膜材料的第七章：PPT讲授各自特殊薄膜材料课堂讨论性能在各17-18Y41与技术的实例分析个领域的应用课堂练习应用；2.使学生了解薄膜5 / 9

《 》课程教学大纲 5 / 9 2. 要求学 生 掌握薄 膜生长模 式和连续 薄膜形成 机制。 1 2 -14 第五章： 薄膜材料 的表征方 法 1.使学生 理解薄膜 分析方法 的基本原 理。 2.要求学 生掌握薄 膜厚度、 形貌、成 分、结构 等分析方 法。 6 PPT 讲授 课堂讨论 实例分析 课堂练习 √ √ √ 15-16 第六章： 薄膜材料 的性质 1.要求学 生掌握薄 膜的力、 电、磁等 物理性 质。 2.使学生 了解半导 体、磁 性、超导 薄膜的特 性及薄膜 的应用 。 4 PPT 讲授 课堂讨论 实例分析 课堂练习 √ √ √ √ 17-18 第七章： 薄膜材料 与技术的 应用 1 .要求学 生熟悉薄 膜材料的 各自特殊 性能在各 个领域的 应用 ； 2 .使学生 了解薄膜 4 PPT 讲授 课堂讨论 实例分析 课堂练习 √ √ √

《》课程教学大纲材料与技术的发展动向。（注：①教学内容服务于课程目标，要根据达成课程目标的需要来确定教学单元，各单元安排合理的教学内容。在修订课程大纲过程中，需要对照课程目标，及时删去与课程目标无关的内容，增补和更新由于学科、方法发展而引起变化的部分，尤其要增补原内容体系中对课程目标支撑缺失和薄弱的部分。②重视利用教学方法实施课程思政。四、课程考核（一）课程目标与课程考核的对应关系表3：课程目标与课程考核的对应关系表考核方式及考核内容课程目标1课程目标2课程目标3课程目标4占比1平时作业2课堂提问3阶段性测薄膜材料与技术的基本概J试念、性质、分类和应用领域。4期末考试(占30%)1平时作业2课堂提问薄膜的制备技术和薄膜生长3阶段性测的物理过程，薄膜厚度的测Y试量、控制方法。4期末考试(占30%)1平时作业2课堂提问薄膜材料的力学、电学、磁学3阶段性测Y>试等物理性质。4期末考试(占30%)1平时作业薄膜材料发展前沿的先进思2课堂提问想与技术，运用薄膜材料与3阶段性测Y2V试技术知识对相关领域学科中4期末考试的科学现象的解释。(占10%)（二）评定方法过程性评价占有一定的比例，有利于学生在学习过程中持续投入。评价方式为活动表现评价与终结性评价相结合，活动表现评价主要是学生平时在课堂学习中的活动表现，终结性评价主要是期末考试。平时成绩（出勤情况、课堂表现、6/9

《 》课程教学大纲 6 / 9 材料与技 术的发展 动向。 （注：①教学内容服务于课程目标，要根据达成课程目标的需要来确定教学单元，各单元安排合理 的教学内容。在修订课程大纲过程中，需要对照课程目标，及时删去与课程目标无关的内容，增补 和更新由于学科、方法发展而引起变化的部分，尤其要增补原内容体系中对课程目标支撑缺失和薄 弱的部分。②重视利用教学方法实施课程思政。） 四、课程考核 （一）课程目标与课程考核的对应关系 表 3：课程目标与课程考核的对应关系表 考核内容 考核方式及 占比 课程目标 1 课程目标 2 课程目标 3 课程目标 4 薄膜材料与技术的基本概 念、性质、分类和应用领域。 1 平时作业 2 课堂提问 3 阶段性测 试 4 期末考试 (占 30%) √ √ 薄膜的制备技术和薄膜生长 的物理过程，薄膜厚度的测 量、控制方法。 1 平时作业 2 课堂提问 3 阶段性测 试 4 期末考试 (占 30%) √ √ √ 薄膜材料的力学、电学、磁学 等物理性质。 1 平时作业 2 课堂提问 3 阶段性测 试 4 期末考试 (占 30%) √ √ √ 薄膜材料发展前沿的先进思 想与技术，运用薄膜材料与 技术知识对相关领域学科中 的科学现象的解释。 1 平时作业 2 课堂提问 3 阶段性测 试 4 期末考试 (占 10%) √ √ √ √ （二）评定方法 过程性评价占有一定的比例，有利于学生在学习过程中持续投入。 评价方式为活动表现评价与终结性评价相结合，活动表现评价主要是学生平时在课 堂学习中的活动表现，终结性评价主要是期末考试。平时成绩（出勤情况、课堂表现

<》课程教学大纲平时作业和随堂测试成绩相结合）占50%，期末考试占50%。（三）评分标准表4：课程目标与评分标准的对应关系表评分标准能够熟练掌握能够掌握薄能够握薄膜对薄膜材料膜材料与技材料与技术不能掌握薄薄膜材料与技与技术的基术的基本知术的基本知的基本知识，本知识不很膜材料与技识，能够正确识，能够运基本能够正熟练，对运用术的基本知识，不能正确运用科学的思用科学的思确运用科学科学的思维维和研究方法维和研究方的思维和研和研究方法运用的科学究方法分析分析问题、解法分析问分析问题、解思维和研究题、解决问决问题。能够问题、解决问决问题不很方法分析问熟练地把薄膜题。能够把题。基本能够熟练。不能够题、解决问材料与技术的薄膜材料与把薄膜材料熟练地把薄题，不能把薄膜材料与技知识应用到相技术的知识与技术的知膜材料与技关的应用分析应用到相关识应用到相术的知识应术的知识应的应用分析关的应用分用到相关的用到相关的中，对实际生占分产和生活中遇应用分析中，应用分析中，中，对实际析中，对实际课程目标比例到的与薄膜材生产和生活对实际生产对实际生产生产和生活和生活中遇和生活中遇料与技术有关中遇到的与中遇到的与的问题，能够薄膜材料与薄膜材料与到的与薄膜到的与薄膜进行正确合理技术有关的技术有关的材料与技术材料与技术的解释，并提问题进行正问题，能够进有关问题的有关问题也出自己独立而确合理的解行较合理的解释不够合不能做出合深入的见解。释。能根据解释。基本能理。根据主题理的解释。根能根据主题内主题内容，根据主题内内容设计薄据主题内容，容，合理设计较合理设计容设计薄膜膜材料制备不能够设计薄膜材料制备薄膜材料制实验不够合和完成薄膜材料制备实理，实验设计材料制备实实验，并很好备实验，并验，能完成实地完成实验设较好地完成验设计。也不能合理验。计。实验设计。的完成。不合格：<优：90-100良：80-89中：70-79合格：60-696024-27课程目标140%36-4032-3528-34<2430%24-2921-2318-20<18课程目标227-30课程目标320%27-3024-29<1221-2318-207-8<6课程目标410%9-108-96-7（四）课程目标达成情况评价方法1.定量评价法分课程目标达成度=(0.1x分目标在课堂提问与讨论中的平均得分+0.2×分目标在课7/9

《 》课程教学大纲 7 / 9 平时作业和随堂测试成绩相结合）占 50%，期末考试占 50%。 （三）评分标准 表 4：课程目标与评分标准的对应关系表 课程目标 占分 比例 评分标准 能够熟练掌握 薄膜材料与技 术 的基本知 识，能够正确 运用科学的思 维和研究方法 分析问题、解 决问题。能够 熟练地把薄膜 材料与技术的 知识应用到相 关的应用分析 中，对实际生 产和生活中遇 到的与薄膜材 料与技术有关 的问题，能够 进行正确合理 的解释，并提 出自己独立而 深入的见解。 能根据主题内 容，合理设计 薄膜材料制备 实验，并很好 地完成实验设 计。 能够掌握薄 膜材料与技 术的基本知 识，能够运 用科学的思 维和研究方 法分析问 题、解决问 题。能够把 薄膜材料与 技术的知识 应用到相关 的应用分析 中，对实际 生产和生活 中遇到的与 薄膜材料与 技术有关的 问题进行正 确合理的解 释。能根据 主题内容， 较合理设计 薄膜材料制 备实验，并 较好地完成 实验设计。 能够握薄 膜 材料与技 术 的基本知识， 基本能够 正 确运用科 学 的思维和 研 究方法分 析 问题、解决问 题。基本能够 把薄膜材 料 与技术的 知 识应用到 相 关的应用 分 析中，对实际 生产和生 活 中遇到的 与 薄膜材料 与 技术有关 的 问题，能够进 行较合理 的 解释。基本能 根据主题 内 容设计薄 膜 材料制备 实 验，能完成实 验设计。 对 薄 膜 材料 与技术 的基 本 知 识 不很 熟练，对运用 科 学 的 思维 和 研 究 方法 分析问题、解 决 问 题 不很 熟练。不能够 熟练地把薄 膜 材 料 与技 术 的 知 识应 用 到 相 关的 应用分析中， 对 实 际 生产 和 生 活 中遇 到的与 薄膜 材 料 与 技术 有 关 问 题的 解 释 不 够合 理。根据主题 内 容 设 计薄 膜 材 料 制备 实 验 不 够合 理，实验设计 也 不 能 合理 的完成。 不能掌握薄 膜 材 料 与技 术 的 基 本知 识，不能正确 运 用 的 科学 思 维 和 研究 方 法 分 析问 题 、 解 决问 题，不能把薄 膜 材 料 与技 术 的 知 识应 用 到 相 关的 应用分析中， 对 实 际 生产 和 生 活 中遇 到的与 薄膜 材 料 与 技术 有 关 问 题也 不 能 做 出合 理的解释。根 据主题内容， 不能够 设计 和 完 成 薄膜 材料制 备实 验。 优：90-100 良：80-89 中：70-79 合格：60-69 不合格：＜ 60 课程目标1 40% 36-40 32-35 28-34 24-27 ＜24 课程目标 2 30% 27-30 24-29 21-23 18-20 ＜18 课程目标 3 20% 27-30 24-29 21-23 18-20 ＜12 课程目标 4 10% 9-10 8-9 7-8 6-7 ＜6 （四）课程目标达成情况评价方法 1．定量评价法 分课程目标达成度=(0.1×分目标在课堂提问与讨论中的平均得分+0.2×分目标在课

《》课程教学大纲后作业中平均得分+0.2×分目标在期中考试中的平均得分+0.5×分目标在期末考试中的平均得分)/0.1×分目标在课堂提问与讨论中总分+0.2×分目标在课后作业中总分+0.2×分目标在期中考试中的总分+0.5×分目标在期末考试中的总分)。总课程目标达成度=0.4×课程目标1达成度+0.3×课程目标2达成度+0.2×课程目标3达成度+0.1x课程目标4达成度2.定性评价法课程目标达成情况定性评价法主要包括问卷法、座谈交流法、专家评价法等。课程负责人通过定性评价法掌握课程目标的达成情况，了解学生对课程目标达成情况的认可度，分析同行专家对课程目标达成情况的评价与建议，及时总结并持续改进。问卷中调查题必需涵盖所有议题，且体谅分布要均衡。每道调查题的选项统一设定为“完全符合”、“符合”、“基本符合”、“基本不符合”、“完全不符合”等5项（出勤率除外），每个选项依次对应5、4、3、2、1分。采用李克特五点评分法，每个被调查者的体验总分就是他对各道题回答所得分数之和，得分越高说明学生的课程学习体验越好。五、教材及参考资料1.唐伟忠主编.《薄膜材料制备原理、技术及应用》第二版，冶金工业出版社，2003。2.杨邦朝主编。《薄膜物理与技术》，电子科技大学出版社，1994。3.郑伟涛主编.《薄膜材料与薄膜技术》，化学工业出版社，2005。8/9

《 》课程教学大纲 8 / 9 后作业中平均得分+0.2×分目标在期中考试中的平均得分+0.5×分目标在期末考试中的平 均得分)/(0.1×分目标在课堂提问与讨论中总分+0.2×分目标在课后作业中总分+0.2×分目 标在期中考试中的总分+0.5×分目标在期末考试中的总分)。 总课程目标达成度=0.4×课程目标 1 达成度+0.3×课程目标 2 达成度+0.2×课程目标 3 达成度+0.1×课程目标 4 达成度 2．定性评价法 课程目标达成情况定性评价法主要包括问卷法、座谈交流法、专家评价法等。课程 负责人通过定性评价法掌握课程目标的达成情况，了解学生对课程目标达成情况的认可 度，分析同行专家对课程目标达成情况的评价与建议，及时总结并持续改进。 问卷中调查题必需涵盖所有议题，且体谅分布要均衡。每道调查题的选项统一设定 为“完全符合”、“符合”、“基本符合”、“基本不符合”、“完全不符合”等 5 项（出勤率 除外），每个选项依次对应 5、4、3、2、1 分。采用李克特五点评分法，每个被调查者的 体验总分就是他对各道题回答所得分数之和，得分越高说明学生的课程学习体验越好。 五、教材及参考资料 1．唐伟忠主编.《薄膜材料制备原理、技术及应用》第二版，冶金工业出版社，2003。 2.杨邦朝主编.《薄膜物理与技术》，电子科技大学出版社，1994。 3.郑伟涛主编.《薄膜材料与薄膜技术》，化学工业出版社，2005