《材料测试技术及方法》课程教学资源（讲稿）-课件ppt_第三篇 SEM

第十章 扫描电子显微分析和电子探针

扫描电子显微分析和电子探针 第十章

本章内容 扫描电子显微镜(SM) 电子探针X射线显微分析(EPA)

扫描电子显微镜（SEM） 电子探针X射线显微分析(EPA) 本章内容

扫描电子显微镜(SEM) ◆ 1938年第一台SEM问世； ◆ 1965年第一台商用SEM问世； ◆SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点； ◆景深大； ◆放大倍数连续调节范围大； ◆分辨本领比较高

◆ 1938年第一台SEM问世; ◆ 1965年第一台商用SEM问世; ◆ SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点; ◆ 景深大; ◆ 放大倍数连续调节范围大; ◆ 分辨本领比较高。 扫描电子显微镜（SEM）

扫描电子显微镜(SEM) 「1) 成像物理信号 1.工作原理与构造 ) 构造 3) SEM主要性能 2.像衬原理★ 3.应用

扫描电子显微镜（SEM） 1.工作原理与构造 2.像衬原理 ★ 3.应用 1） 成像物理信号 2） 构造 3） SEM主要性能

1)成像物理信号 具有一定能量的电子，当 二次电子 射 背散射电子 其入射固体样品时，将与 俄歇电子 特征X射线 样品内原子核和核外电子 发生弹性和非弹性散射过 吸收电子 程，激发固体样品产生多 样品 种物理信号。 透射电子

1）成像物理信号 具有一定能量的电子，当 其入射固体样品时，将与 样品内原子核和核外电子 发生弹性和非弹性散射过 程，激发固体样品产生多 种物理信号

1)成像物理信号 ※背散射电子： ◆包括弹性背散射电子 和非弹性背散射电子； ◆能量高； ◆来自样品表层几百纳 米的深度； ◆与原子序数有关

※ 背散射电子： ◆ 包括弹性背散射电子 和非弹性背散射电子； ◆ 能量高； ◆ 来自样品表层几百纳 米的深度； ◆ 与原子序数有关。 1）成像物理信号

形貌 1)成像物理信号 分 ※（真）二次电子： ◆样品核外电子； ◆样品表层几个纳米深度； ◆能量小； ◆产额与原子序数无关。 primary electrons hackscattered electrons 8 secondary electrons valence 00000009000 electrons atomic nuclei 各种电 还包括特征二次电子：如，俄 子信号 歇电子。 的图示 atomic cross-section of specimen surface

※（真）二次电子： ◆ 样品核外电子； ◆ 样品表层几个纳米深度； ◆ 能量小； ◆ 产额与原子序数无关。 1）成像物理信号 形貌 分析 各种电 子信号 的图示 还包括特征二次电子：如，俄 歇电子

1)成像物理信号 二次电子 背散射电子 ※吸收电子 原子序数衬度。 俄歇电子 电子東 特征X射线 吸收电子 ※透射电子： 样品 仅取决于样品微区的成分、 透射电子 厚度、晶体结构及位向等

1）成像物理信号 ※ 吸收电子 原子序数衬度 。 ※ 透射电子： 仅取决于样品微区的成分、 厚度、晶体结构及位向等

1)成像物理信号 保持电平衡 二次电子 背散射电子 ip-iprisiaric 俄歇电子 特征X射线 ,是入射电子强度； 吸收电子 样品 ,是背散射电子强度； i,是二次电子强度； 透射电子 i是吸收电子强度； 是透射电子强度

保持电平衡 ip =ib+is+ia+it ip 是入射电子强度； ib 是背散射电子强度； is 是二次电子强度； ia 是吸收电子强度； it 是透射电子强度。 1）成像物理信号