《材料测试技术及方法》课程教学资源（讲稿）-课件ppt_第三篇 1-TEM

第三篇 电子显微分析

电子显微分析 第三篇

主要内容 第九章 透射电子显微分析 第十章 扫描电子显微分析 电子探针X射线显微分析

第九章 透射电子显微分析 第十章 扫描电子显微分析 电子探针X射线显微分析 主要内容

电子显微分析 ·电子显微分析：依据电子束（波)与材料的 相互作用而建立的各种材料现代分析方法。 ·电子显微分析方法以材料微观形貌、结构 与成分分析为基本目的

电子显微分析 • 电子显微分析：依据电子束（波）与材料的 相互作用而建立的各种材料现代分析方法。 • 电子显微分析方法以材料微观形貌、结构 与成分分析为基本目的

显微镜的发明打开了微观世界的大门 1932年，德国科学家Ruska研 制第一台透射电子显微镜 光学显微镜 透射电子显微镜 电子显微镜可以看到单 个原子，分辨率在0.1nm, 以电子束做为照明束

显微镜的发明打开了微观世界的大门 1932年，德国科学家Ruska研 制第一台透射电子显微镜 光学显微镜 透射电子显微镜 电子显微镜可以看到单 个原子，分辨率在0.1nm, 以电子束做为照明束

电 透射式电子显微镜（TEM)大 扫描式电子显微镜（SEM)女 显 隧道式扫描电子显微镜(STM) 分析 透射扫描电子显微镜(TSEM) 超高压透射扫描电子显微镜 CM.120 JEM-ARM1250超高压透射电子显微镜 大型仪器 只本電子

电 子 显 微 分 析 透射式电子显微镜（TEM）★ 扫描式电子显微镜（SEM）★ 隧道式扫描电子显微镜（STM） 透射扫描电子显微镜（TSEM） 超高压透射扫描电子显微镜 大型仪器

第九章 透射电子显微分析(TEM) 0.透射电子显微技术基础 1.原理★ 2.仪器构造女 3.成像操作和像衬度★ 4.样品制备★ 5.应用

第九章 透射电子显微分析（TEM） 0.透射电子显微技术基础 1.原理★ 2.仪器构造 ★ 3.成像操作和像衬度 ★ 4.样品制备 ★ 5.应用

回顾：在各种电子信号 透射电子显微技术基础 !基础上发展起来的检测 技术见P47:表3-1 ,:入射电子流 Ir:透射电子流 :背散射电子流 L:二次电子流 Ix:X射线辐射 I4:样品吸收电流 I:表面元素发射强度 入射电子束与固体作用产生的发射现象

入射电子束与固体作用产生的发射现象 回顾：在各种电子信号 基础上发展起来的检测 技术见P47：表3-1 透射电子显微技术基础

入射电子束 当电子束与样品相互 反射电子 二次电子 作用时，99%以上的 入射电子能量转化为 吸收电子 热能，余下1%能量用 于产生各类电子信息 非弹性散射电 弹性散射电子 直接透射电子 透射电子 电子束与材料作用产生的电子信号 透射电镜 利用透射电子通过磁透镜 原理成像的电镜技术，简 称为透射电镜。 弹性散射电子 非弹性散射电子 Transmittance Electron Microscopy,TEM. 直接透射电子

电子束与材料作用产生的电子信号 透射电子

·入射电子在晶体内，发生两类电子散射，一类相干散 射（弹性散射），一类是非相干散射（非弹性行散射)。 相干散射电子，遵从布拉格方程，形成衍射花斑或环； 非相干散射，导致晶体内出现沿空间所有方向传播的电 子波，形成衍射花样的背景强度。 ·原子核对入射电子的散射是弹性散射 ·核外电子对入射电子的散射是非弹性散射 原子核对电子的弹性散射，是透射电镜中成像 和衍射的基础。“(47：表3刊

• 原子核对入射电子的散射是弹性散射 • 核外电子对入射电子的散射是非弹性散射 原子核对电子的弹性散射，是透射电镜中成像 和衍射的基础 。（P47：表3-1） • 入射电子在晶体内，发生两类电子散射，一类相干散 射（弹性散射），一类是非相干散射（非弹性行散射）。 相干散射电子，遵从布拉格方程，形成衍射花斑或环； 非相干散射，导致晶体内出现沿空间所有方向传播的电 子波，形成衍射花样的背景强度

成像 1.原理 ·成像原理与光学显微镜类似 电子波长极短 高的像分辨本领 产生衍射现象 结构分析 (与物质作用产生的衍射遵从布拉格方程)

• 成像原理与光学显微镜类似 （与物质作用产生的衍射遵从布拉格方程） 电子波长极短 高的像分辨本领 产生衍射现象 结构分析 1.原理 成 像