《传感器与检测技术》课程教学课件（PPT讲稿）光电位置敏感器件（PSD）在激光准直中的应用

半导体光电位置敏感器件(PSD) 及其应用

半导体光电位置敏感器件（PSD） 及其应用

一、 半导体光电位置敏感器件的结构 ■二、工作原理及特性分析 ■三、外界参数对器件性能影响 ■四、信号调理电路的设计 五、应用举例

◼ 一、半导体光电位置敏感器件的结构 ◼ 二、工作原理及特性分析 ◼ 三、外界参数对器件性能影响 ◼ 四、信号调理电路的设计 ◼ 五、应用举例

半导体光电位置敏感器件的结构 本部分要点： 1.半导体光电位置敏感器件简述 2.光电位置敏感器件特点 3.一维光电位置敏感器件结构 4.二维光电位置敏感器件结构

一、半导体光电位置敏感器件的结构 本部分要点： 1. 半导体光电位置敏感器件简述 2. 光电位置敏感器件特点 3. 一维光电位置敏感器件结构 4. 二维光电位置敏感器件结构

PSD实物图展 20163

PSD实物图展

滤光片、半导体激光器 00 531 2010031

滤光片、半导体激光器

口1.半导体光电位置敏感器件简述 半导体光电位置敏感器件(Position Sensitive Detector简 称PSD)是一种对其感光面上入射光点位置敏感的光电 器件。即当入射光点落在器件感光面的不同位置时，将 对应输出不同的电信号，通过对此输出电信号的处理， 即可确定入射光点在器件感光面上的位置

◼ 1.半导体光电位置敏感器件简述 半导体光电位置敏感器件（Position Sensitive Detector 简 称 PSD）是一种对其感光面上入射光点位置敏感的光电 器件。即当入射光点落在器件感光面的不同位置时，将 对应输出不同的电信号，通过对此输出电信号的处理， 即可确定入射光点在器件感光面上的位置

2.特点 (1)位置分辨率高：分辨率可达微米级。 器件尺寸越大，PSD的位置分辨率越低，要提高PSD 的位置分辨率，除了增大PSD的分流层电阻、减小其 暗电流外，还要选择噪声系数小的放大器以及分辨率足 够高的测试仪表。 《2)响应速度快 PSD器件的响应频率由1/RC决定，R=Rs+RL,Rs是PSD 的分流层电阻，R是负载电阻，通常R<Rs,C是PSD的结 电容与分布电容之和。 一维PSD响应时间常数为：rG2/元2 二维PSD响应时间常数为：rc2(2π2) 是分流层的方块电阻 c是单位面积电容： 1是器件长度

2. 特点 （1)位置分辨率高：分辨率可达微米级。 器件尺寸越大，PSD的位置分辨率越低，要提高PSD 的位置分辨率，除了增大 PSD 的分流层电阻、减小其 暗电流外，还要选择噪声系数小的放大器以及分辨率足 够高的测试仪表。 （2)响应速度快 PSD器件的响应频率由1/RC决定，R=RS+RL,RS是 PSD 的分流层电阻，RL是负载电阻，通常RL<< RS,C是PSD的结 电容与分布电容之和。 一维PSD响应时间常数为： 二维PSD响应时间常数为： 2 2 rcl / /(2 ) 2 2 rcl  是器件长度 是单位面积电容； 是分流层的方块电阻； l c r

(3)光谱范围宽 般讲： (1)芯片尺寸：30mm； (2)光谱范围(nm):380-1100: (3)峰值响应度(Aw):典型值+20最大值+-70； (4)位置测量误差(m):±30~士120 (4)处理电路简单 运算放大器、除法器、电阻、电容等即可完成该 电路

（3)光谱范围宽 一般讲： (1)芯片尺寸：30mm ; (2)光谱范围（nm）：380-1100 ; (3)峰值响应度（A/w）：典型值:+-20 最大值 :+-70 ; (4)位置测量误差（μm）：±30~±120. （4)处理电路简单 运算放大器、除法器、电阻、电容等即可完成该 电路

3.一维光电位置敏感 4.二维光电位置敏感 器件结构 器件结构 输出电极 Y1输出 3 I X2输出 X1输出· I2 输出电极 I2 公共电极 Y2输出

◼ 3.一维光电位置敏感 器件结构 ◼ 4.二维光电位置敏感 器件结构 输出电极 I1 输出电极 I2 公共电极 Y1输出 Y2输出 X1输出 X2输出 I1 I2 I3 I4