首都医科大学：“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项2022年度项目申报指南

附件15 “基础科研条件与重大科学仪器设备研发” 重点专项2022年度项目申报指南 (仅国家科技管理信息系统注册用户登录可见) 为落实“十四五”期间国家科技创新有关部署安排，国家重 点研发计划启动实施“基础科研条件与重大科学仪器设备研发” 重点专项。根据本重点专项实施方案的部署，现发布2022年度 项目申报指南。 本重点专项的总体目标是加强我国基础科研条件保障能力 建设，着力提升科研试剂、实验动物、科学数据等科研手段以及 方法工具自主研发与创新能力；围绕国家基础研究与科技创新重 大战略需求，以关键核心部件国产化为突破口，重点支持高端科 学仪器工程化研制与应用开发，研制可靠、耐用、好用、用户愿 意用的高端科学仪器，切实提升我国科学仪器自主创新能力和装 备水平，促进产业升级发展，支撑创新驱动发展战略实施。 2022年度指南部署围绕科学仪器、科研试剂、实验动物和科 学数据等4个方向进行布局，拟支持82个项目，拟安排国拨经 费概算10.09亿元。此外，拟支持9个青年科学家项目，拟安排 国拨经费1800万元，每个项目200万元。 项目统一按指南二级标题（如1.1）的研究方向申报。同一指 514-

首都医科大学 A00089 — 514 — 附件 15￾￾￾￾熄⑜￾￾￾￾￾￾熄⠙￾￾熄⠙￾ ￾￾8≠ 2022 ￾㈠≠㌮㤵㈠㤰㐮 （仅国家科技管理信息系统注册用户登录可见） 为落实“十四五”期间国家科技创新有关部署安排，国家重 点研发计划启动实施“基础科研条件与重大科学仪器设备研发” 重点专项。根据本重点专项实施方案的部署，现发布 2022 年度 项目申报指南。 本重点专项的总体目标是加强我国基础科研条件保障能力 建设，着力提升科研试剂、实验动物、科学数据等科研手段以及 方法工具自主研发与创新能力；围绕国家基础研究与科技创新重 大战略需求，以关键核心部件国产化为突破口，重点支持高端科 学仪器工程化研制与应用开发，研制可靠、耐用、好用、用户愿 意用的高端科学仪器，切实提升我国科学仪器自主创新能力和装 备水平，促进产业升级发展，支撑创新驱动发展战略实施。 2022 年度指南部署围绕科学仪器、科研试剂、实验动物和科 学数据等 4 个方向进行布局，拟支持 82 个项目，拟安排国拨经 费概算 10.09 亿元。此外，拟支持 9 个青年科学家项目，拟安排 国拨经费 1800 万元，每个项目 200 万元。 项目统一按指南二级标题（如 1.1）的研究方向申报。同一指

南方向下，原则上只支持1项，仅在申报项目评审结果相近、技 术路线明显不同时，可同时支持2项，并建立动态调整机制，根 据中期评估结果，再择优继续支持。 除特殊说明外，所有项目均应整体申报，须覆盖全部研究内 容和考核指标。项目执行期原则上为35年。一般项目下设的课 题数不超过5个，项目参与单位数不超过10家。项目设1名负 责人，每个课题设1名负责人，科研试剂和科学仪器两部分指南 方向（除5.1和52外），鼓励企业牵头申报，由企业牵头申报的 自筹资金与中央财政资金的比例不低于1：1；高校或科研院所牵 头申报的，须与从事相关领域生产并具有销售能力的企业联合申 报，建立产、学、研、用相结合的创新团队。 青年科学家项目（项目名称后有标注）支持青年科研人员承 担国家科研任务，青年科学家项目不再下设课题，项目参与单位 总数不超过3家.项目设1名项目负责人，青年科学家项目负责 人年龄要求，男性应为1984年1月1日以后出生，女性应为1982 年1月1日以后出生，原则上团队其他参与人员年龄要求同上. 专项实施过程中，涉及实验动物和动物实验，应遵守国家实 验动物管理的法律、法规、技术标准和有关规定，使用合格的实 验动物，在合格设施内进行动物实验，保证实验过程合法，实验 结果真实、有效，并通过实验动物福利和伦理审查。涉及高等级 病原微生物实验活动的，必须符合国家病原微生物实验室有关要 求，并具备从事相关研究的经验和保障条件。涉及人体被试和人 -515

首都医科大学 A00089 — 515 — 南方向下，原则上只支持 1 项，仅在申报项目评审结果相近、技 术路线明显不同时，可同时支持 2 项，并建立动态调整机制，根 据中期评估结果，再择优继续支持。 除特殊说明外，所有项目均应整体申报，须覆盖全部研究内 容和考核指标。项目执行期原则上为 3~5 年。一般项目下设的课 题数不超过 5 个，项目参与单位数不超过 10 家。项目设 1 名负 责人，每个课题设 1 名负责人。科研试剂和科学仪器两部分指南 方向（除 5.1 和 5.2 外），鼓励企业牵头申报，由企业牵头申报的 自筹资金与中央财政资金的比例不低于 1:1；高校或科研院所牵 头申报的，须与从事相关领域生产并具有销售能力的企业联合申 报，建立产、学、研、用相结合的创新团队。 青年科学家项目（项目名称后有标注）支持青年科研人员承 担国家科研任务。青年科学家项目不再下设课题，项目参与单位 总数不超过 3 家。项目设 1 名项目负责人，青年科学家项目负责 人年龄要求，男性应为 1984 年 1 月 1 日以后出生，女性应为 1982 年 1 月 1 日以后出生，原则上团队其他参与人员年龄要求同上。 专项实施过程中，涉及实验动物和动物实验，应遵守国家实 验动物管理的法律、法规、技术标准和有关规定，使用合格的实 验动物，在合格设施内进行动物实验，保证实验过程合法，实验 结果真实、有效，并通过实验动物福利和伦理审查。涉及高等级 病原微生物实验活动的，必须符合国家病原微生物实验室有关要 求，并具备从事相关研究的经验和保障条件。涉及人体被试和人

类遗传资源的科学研究，须遵守我国《中华人民共和国人类遗传 资源管理条例》《涉及人的生物医学研究伦理审查办法》《人胚胎 干细胞研究伦理指导原则》等法律、法规、伦理准则和相关技术 规范。 本专项2022年度项目申报指南如下. 一、科学仪器 1.高端通用科学仪器工程化及应用开发 原则上，使用指南名称申报，每个项目下设课题数不超过5 个，项目参与单位总数不超过10家，实施周期不超过4年 1.1高分辨率二次离子质谱分析仪 研究内容：针对半导体材料、新能源材料、矿产样品等材料 的结构和化学成分微区原位分析需求，突玻高能复合离子源、二 次离子提取、高分辨质谱，高精度多接收器、质谱成像数据快速 检测处理和数据重建等关键技术，开发具有自主知识产权、质量 稳定可靠、核心部件国产化的高分辨二次离子质谱分析仪，开展 工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在海洋勘测、地质矿 产探测、生命科学研究和半导体器件制造等领域的应用。 考核指标：质量分析范围2-300amu;质量分辨率≥20000 FWHM;一次离子能量范围1OeV~2OkeV;检测限1ppb量级；动 态范围≥10个数量级：07Pb/206Pb测试标准偏差<0.5%，27Pb20%P% 分馏<1%/amu;18O/0内部精度(2分钟)<0.15%。项目完成 时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障问隔时问≥3000 -516-

首都医科大学 A00089 — 516 — 类遗传资源的科学研究，须遵守我国《中华人民共和国人类遗传 资源管理条例》《涉及人的生物医学研究伦理审查办法》《人胚胎 干细胞研究伦理指导原则》等法律、法规、伦理准则和相关技术 规范。本专项 2022 年度项目申报指南如下。 一、科学仪器 1. 高端通用科学仪器工程化及应用开发 原则上，使用指南名称申报，每个项目下设课题数不超过 5 个，项目参与单位总数不超过 10 家，实施周期不超过 4 年。 1.1 高分辨率二次离子质谱分析仪 研究内容：针对半导体材料、新能源材料、矿产样品等材料 的结构和化学成分微区原位分析需求，突破高能复合离子源、二 次离子提取、高分辨质谱、高精度多接收器、质谱成像数据快速 检测处理和数据重建等关键技术，开发具有自主知识产权、质量 稳定可靠、核心部件国产化的高分辨二次离子质谱分析仪，开展 工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在海洋勘测、地质矿 产探测、生命科学研究和半导体器件制造等领域的应用。 考核指标：质量分析范围 2~300amu；质量分辨率≥20000 FWHM；一次离子能量范围 10eV~20keV；检测限 1ppb 量级；动 态范围≥10个数量级；207Pb/206Pb测试标准偏差＜0.5%，207Pb/206Pb 分馏＜1‰/amu；18O/16O 内部精度（2 分钟）＜0.15‰。项目完成 时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000

小时，技术就绪度不低于8级；至少应用于2个领域或行业。明 确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识 产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用要求 1.2单细胞质谱分析仪 研究内容：针对生物医学活体或离体单细胞、单细胞内化学 成分、含量和代谢分析需求，突破单细胞样品制备、代谢组学直 接电离质谱进样、电离源、单细胞内极性、弱极性和非极性质谱 分析、肿瘤微环境和代谢重编程定性定量分析等关键技术，开发 具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的单细胞质 谱分析仪，开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范 和产业化推广，实现在生物化学、生命科学等研究领域的应用。 考核指标质量分析范围50-2000Da,分辨率LR100MR1000MHR2000: 扫描速率≥15000Th/s;具备MS2和MS3功能；线性动态范围≥5 个数量级；电离源正与负模式切换时间≤30ms;极性物质检出限 达到amol;弱校性物质检出限达到fmol;化合物分析≥150种 (极性、弱极性、非极性上单细胞分析时间≤1分钟；细胞分析 通量≥50细胞/小时，自动连续分析单细胞≥2000个。项目完成 时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障问隔时问≥3000 小时，技术就绪度不低于8级：至少应用于2个领城或行业，明 确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识 产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用要求 13快速热化学反应过程分析仪 -517-

首都医科大学 A00089 — 517 — 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明 确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识 产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用要求。 1.2 单细胞质谱分析仪 研究内容：针对生物医学活体或离体单细胞、单细胞内化学 成分、含量和代谢分析需求，突破单细胞样品制备、代谢组学直 接电离质谱进样、电离源、单细胞内极性、弱极性和非极性质谱 分析、肿瘤微环境和代谢重编程定性定量分析等关键技术，开发 具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的单细胞质 谱分析仪，开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范 和产业化推广，实现在生物化学、生命科学等研究领域的应用。 考核指标：质量分析范围50~2000Da，分辨率LR100/MR1000/HR2000； 扫描速率≥15000Th/s；具备 MS2和 MS3功能；线性动态范围≥5 个数量级；电离源正与负模式切换时间≤30ms；极性物质检出限 达到 a mol；弱极性物质检出限达到 f mol；化合物分析≥150 种 （极性、弱极性、非极性）；单细胞分析时间≤1 分钟；细胞分析 通量≥50 细胞/小时，自动连续分析单细胞≥2000 个。项目完成 时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明 确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识 产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用要求。 1.3 快速热化学反应过程分析仪

研究内容：针对快速热化学反应产物生成过程特性分析的检 测需求，突破平推流微型反应器、反应物料在线脉冲伺样、高温 高压热反应快速诱发、气相产物近平推流导出、全产物在线检测， 产物生成反应动力学解析等关键技术，开发具有自主知识产权、 质量稳定可靠、核心部件国产化的快速热化学反应过程分析仪， 开发软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广， 实现在能源、化工、治金等领城的应用。○ 考核指标：流体平均停留时问偏差610%；反应样品在线脉 冲进样时问≤10ms;最高工作温度1500℃；最高工作压力 5.0MPa;气相产物分析质量分辨率≤0.005amu,全质量数谱图> 10幅/s;热导检测池体积3000小时，技术就绪度不低于8级；至少应用于 2个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权 数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用， 满足用户使用要求 1.4高灵敏数字化生物气溶胶直接分析仪 研究内容：针对生物气溶胶样品化学组分检测需求，突破人 源气溶胶、动物源气溶胶、植物源气溶胶、微生物源气溶胶等生 物气溶胶直接分析技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、 核心部件国产化的高灵敏数字化生物气溶胶直接分析仪，开发相 关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实 -518-

首都医科大学 A00089 — 518 — 研究内容：针对快速热化学反应产物生成过程特性分析的检 测需求，突破平推流微型反应器、反应物料在线脉冲伺样、高温 高压热反应快速诱发、气相产物近平推流导出、全产物在线检测、 产物生成反应动力学解析等关键技术，开发具有自主知识产权、 质量稳定可靠、核心部件国产化的快速热化学反应过程分析仪， 开发软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广， 实现在能源、化工、冶金等领域的应用。 考核指标：流体平均停留时间偏差≤10%；反应样品在线脉 冲进样时间≤10ms；最高工作温度 1500℃；最高工作压力 5.0MPa；气相产物分析质量分辨率≤0.005amu，全质量数谱图≥ 10 幅/s；热导检测池体积≤10μL，检测重复性≤3.0%，线性动态 范围 105。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均 故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权 数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经指定用户试用， 满足用户使用要求。 1.4 高灵敏数字化生物气溶胶直接分析仪 研究内容：针对生物气溶胶样品化学组分检测需求，突破人 源气溶胶、动物源气溶胶、植物源气溶胶、微生物源气溶胶等生 物气溶胶直接分析技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、 核心部件国产化的高灵敏数字化生物气溶胶直接分析仪，开发相 关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实

现在呼吸系统疾病防治、生命科学研究和食品药品等领域的应用， 考核指标：气溶胶检出限3个数量级；气溶胶自进样到信号响应时间≤3S;单个样 品数据处理识别时间≤10s;建立各类型气溶胶数据库≥4个；具 有高速数字化5个维度协同智能数据处理识别能力，具有特征分 子结构确证能力、防交叉感染的生物安全防护功能。项目完成时 通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间>3000小 时，技术就绪度不低于8级；至少应用于2个领域或行业。明确 发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产 权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用要求。 有关说明：该方向拟支持项目数1项/青年科学家项目3项。 青年科学家项目不受指南考核指标约束，可在研究内容范围内自 定技术路径、研究目标和考核指标，重在方法创新和探索研究。 1.5紫外一可见光高分辨率光谱仪 研究内容：针对紫外告警、光学跟踪、微光检测等测试需求， 突破高精度光谱分光、宽光谱扫描、高精度谱图标定等关键技术， 开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的紫外 一可见光高分辨率光谱仪，开发相关软件和数据库，开展工程化 开发、应用示范和产业化推广，实现在光学装备、光刻机等领域 的应用。 考核指标：光谱范围190-1100nm;光谱分辨率22×10nm (193nm上光谱精度0.1×103nm;最大光谱窗口≤0.8nm;最低 -519

首都医科大学 A00089 — 519 — 现在呼吸系统疾病防治、生命科学研究和食品药品等领域的应用。 考核指标：气溶胶检出限≤1ppb（精氨酸、乙酰胆碱）；线性 范围≥3 个数量级；气溶胶自进样到信号响应时间≤3s；单个样 品数据处理识别时间≤10s；建立各类型气溶胶数据库≥4 个；具 有高速数字化 5 个维度协同智能数据处理识别能力，具有特征分 子结构确证能力、防交叉感染的生物安全防护功能。项目完成时 通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小 时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确 发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产 权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用要求。 有关说明：该方向拟支持项目数 1 项/青年科学家项目 3 项。 青年科学家项目不受指南考核指标约束，可在研究内容范围内自 定技术路径、研究目标和考核指标，重在方法创新和探索研究。 1.5 紫外—可见光高分辨率光谱仪 研究内容：针对紫外告警、光学跟踪、微光检测等测试需求， 突破高精度光谱分光、宽光谱扫描、高精度谱图标定等关键技术， 开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的紫外 —可见光高分辨率光谱仪，开发相关软件和数据库，开展工程化 开发、应用示范和产业化推广，实现在光学装备、光刻机等领域 的应用。考核指标：光谱范围 190~1100nm；光谱分辨率 22×10-6nm （193nm）；光谱精度≤0.1×10-3nm；最大光谱窗口≤0.8nm；最低

可探测脉冲能量《10小。项目完成时通过可靠性测试和第三方异 地测试，平均故障间隔时间≥3000小时，技术就绪度不低于8级： 至少应用于2个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权 等知识产权数量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用 户试用，满足用户使用要求。 1.6扫描式光场辐射度计 研究内容：针对发光材料及器件、照明与显示设备、红外辐 射源等对光辐射性能定量检测的需求，突破发光体光色同步测量 与校准、辐射光场分布测量与校准等关键技术，开发具有自主知 识产权，质量稳定可靠，核心部件国产化的扫描式光场辐射度计， 开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推 广，实现在照明显示、交通运输和文物保护等领域的应用 考核指标：波长范围380-1100nm;光谱分辨率≤1nm;亮度 测量精度≤±3%，色坐标测量精度≤0.002（标准A光源方发光 强度测量误差≤2%；成像测量分辨率≥8000万像素；成像发光 面直径≤600mm;扫描角度定位精度≤0.05；全空间测量与重建 时间≤10分钟。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障问隔时问>3000小时，技术就绪度不低于8级：至少应 用于2个领城或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.7紫外光电子谱分析仪 -520-

首都医科大学 A00089 — 520 — 可探测脉冲能量≤10μJ。项目完成时通过可靠性测试和第三方异 地测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级； 至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权 等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用 户试用，满足用户使用要求。 1.6 扫描式光场辐射度计 研究内容：针对发光材料及器件、照明与显示设备、红外辐 射源等对光辐射性能定量检测的需求，突破发光体光色同步测量 与校准、辐射光场分布测量与校准等关键技术，开发具有自主知 识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的扫描式光场辐射度计， 开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推 广，实现在照明显示、交通运输和文物保护等领域的应用。 考核指标：波长范围 380~1100nm；光谱分辨率≤1nm；亮度 测量精度≤±3%，色坐标测量精度≤0.002（标准 A 光源）；发光 强度测量误差≤2%；成像测量分辨率≥8000 万像素；成像发光 面直径≤600mm；扫描角度定位精度≤0.05°；全空间测量与重建 时间≤10 分钟。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应 用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.7 紫外光电子谱分析仪

研究内容：针对材料紫外光电子发射特性和半导体表面电子 结构表征等检测需求，突破真空紫外光源、真空紫外单色仪、真 空紫外光电探测器等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳 定可靠、核心部件国产化的紫外光电子谱分析仪，开发相关软件 和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在宇 航级材料和半导体材料等领域的应用。 考核指标：波长范围115-400nm;光源功率≥100W;单色仪 波长分辨率≤0.1nm；收集增益≥10；发射产额测试范围 10610'elph;表面分析能量范围3.2-10eV;表面分析能量分辨 率≤0.01eV.项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平 均故障间隔时间≥3000小时，技术就绪度不低于8级；至少应用 于2个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产 权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.8多自由度非接触三维光学扫描仪 研究内容：针对狭小腔体、狭长管体和叶片状零件等检测需 求，突破三维非接触光学旋转扫描仪整机误差补偿、基于场景定 位的自动路径规划方法、适用于狭小腔体类零部件检测的复合高 精度三维扫描成像探测等关健技术，开发具有自主知识产权、质 量稳定可靠、核心部件国产化的三维非接触光学旋转扫描仪，并 实现在校准实验室、航空航天、国防工业和汽车工业等领城的应 用验证。 -521-

首都医科大学 A00089 — 521 — 研究内容：针对材料紫外光电子发射特性和半导体表面电子 结构表征等检测需求，突破真空紫外光源、真空紫外单色仪、真 空紫外光电探测器等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳 定可靠、核心部件国产化的紫外光电子谱分析仪，开发相关软件 和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在宇 航级材料和半导体材料等领域的应用。 考核指标：波长范围 115~400nm；光源功率≥100W；单色仪 波长分辨率≤0.1nm；收集增益≥106；发射产额测试范围 10-6~10-1el/ph；表面分析能量范围 3.2~10eV；表面分析能量分辨 率≤0.01eV。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平 均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用 于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产 权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.8 多自由度非接触三维光学扫描仪 研究内容：针对狭小腔体、狭长管体和叶片状零件等检测需 求，突破三维非接触光学旋转扫描仪整机误差补偿、基于场景定 位的自动路径规划方法、适用于狭小腔体类零部件检测的复合高 精度三维扫描成像探测等关键技术，开发具有自主知识产权、质 量稳定可靠、核心部件国产化的三维非接触光学旋转扫描仪，并 实现在校准实验室、航空航天、国防工业和汽车工业等领域的应 用验证

考核指标：最大空间工作范围>1800mm(直径)，狭小腔体 直径范围8~30mm,深度≤120mm,空间测量精度5mm,测头转速>600RPM,测 量重复性≤1um,采样频率≥2kHz,轴向分辨率≤0.5um,侧向 分辨率≤15μm。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间>≥3000小时，技术就绪废不低于8级；至少应 用于2个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.9微探头传感器式激光干涉仪 研究内容：针对材料热线账和压电效应测试表征、结构体微 应变微振动监测分析、微纳传感器标定测试、高端装备超精密运 动特性测试检定等狭小空问下大量程、高精度位移测量需求，突 破毫米级微光学测头设计与多自由度精准装配、大幅度高带宽调 频激光的精密稳频、高速位移的深亚纳米级分辨、位移解调误差 实时修正等等关键技术，开发相关软件和数据库，开展工程化开 发、应用示范和产业化推广，实现在精密传感器计量测试、新材 料科学研究、高端装备集成校准等领减的应用， 考核指标：工作距离10-600mm;微探头尺寸≤ p6mm×14mm;激光光源的频率调制幅度≥1GHz,调制带宽≥ 5MHz,激光光源中心频率精度≤5×108：测量速度≥1.5m/s,位 移分辨力≤0.05nm,位移解调误差补偿精度<0.4nm;测量标准 -522-

首都医科大学 A00089 — 522 — 考核指标：最大空间工作范围≥1800mm（直径），狭小腔体 直径范围 8~30mm，深度≤120mm，空间测量精度≤30μm；复合 高精度三维扫描测头测量范围≥5mm，测头转速≥600RPM，测 量重复性≤1μm，采样频率≥2kHz，轴向分辨率≤0.5μm，侧向 分辨率≤15μm。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应 用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.9 微探头传感器式激光干涉仪 研究内容：针对材料热线胀和压电效应测试表征、结构体微 应变微振动监测分析、微纳传感器标定测试、高端装备超精密运 动特性测试检定等狭小空间下大量程、高精度位移测量需求，突 破毫米级微光学测头设计与多自由度精准装配、大幅度高带宽调 频激光的精密稳频、高速位移的深亚纳米级分辨、位移解调误差 实时修正等等关键技术，开发相关软件和数据库，开展工程化开 发、应用示范和产业化推广，实现在精密传感器计量测试、新材 料科学研究、高端装备集成校准等领域的应用。 考 核 指 标 ： 工 作 距 离 10~600mm ； 微 探 头 尺 寸 ≤ φ6mm×14mm；激光光源的频率调制幅度≥1GHz，调制带宽≥ 5MHz，激光光源中心频率精度≤5×10-8；测量速度≥1.5m/s，位 移分辨力≤0.05nm，位移解调误差补偿精度≤0.4nm；测量标准

不确定度≤1.6nm(40mm)。项目完成时通过可靠性测试和第三 方异地测试，平均故障间隔时间≥3000小时，技术就绪度不低于 8级；至少应用于2个领城或行业。明确发明专利、标准和软件 著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力， 经用户试用，满足用户使用要求。 1.10光电集成电路及器件参数综合测试仪 研究内容：针对集成硅光芯片、激光器、探测器、光纤无源 器件等光电器件测试需求，突破复杂网络多参数自动测量与提取、 网络参数误差校准、自动多模式化集散控制、高精密自动位移测 量台等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心 部件国产化的集成硅光在片综合参数测试仪，开发相关软件和数 据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在集成光 电子器件、高速光纤通信等领城的应用。 考核指标：测试中心波长1310nm±10nm和1550nm±10nm; 最小探测光功率≤-8OdBm;光输出功率动态范围>70dB:偏振损 耗测量范围≥30dB;测量频率范围>10MHz~110GHz;光电频率 响应动态范围≥30dB:最小可测频率响应≤40dB:最小分析中 频带宽3000小时，技术就绪度不低于8级；至少应用于2 个领域或行业。明确发明专利，标准和软件著作权等知识产权数 量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用户试用，满足 -523-

首都医科大学 A00089 — 523 — 不确定度≤1.6nm（40mm）。项目完成时通过可靠性测试和第三 方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件 著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力， 经用户试用，满足用户使用要求。 1.10 光电集成电路及器件参数综合测试仪 研究内容：针对集成硅光芯片、激光器、探测器、光纤无源 器件等光电器件测试需求，突破复杂网络多参数自动测量与提取、 网络参数误差校准、自动多模式化集散控制、高精密自动位移测 量台等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心 部件国产化的集成硅光在片综合参数测试仪，开发相关软件和数 据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在集成光 电子器件、高速光纤通信等领域的应用。 考核指标：测试中心波长 1310nm±10nm 和 1550nm±10nm； 最小探测光功率≤-80dBm；光输出功率动态范围≥70dB；偏振损 耗测量范围≥30dB；测量频率范围≥10MHz~110GHz；光电频率 响应动态范围≥30dB；最小可测频率响应≤-40dB；最小分析中 频带宽≤1kHz；测量电电测量、光电测量、电光测量、光光测量 等模式。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故 障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数 量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足