《材料测试技术及方法》课程教学资源（讲稿）课件_上课课件_10-扫描电子显微分析与电子探针

第十章扫描电子显微分析与电子探针

第十章 扫描电子显微分析与电子探针

本章内容：10.1扫描电子显微镜工作原理及构造10.2像衬原理与应用10.3电子探针X射线显微分析

10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 10.2 像衬原理与应用 10.3 电子探针X射线显微分析 本章内容:

10.1扫描电子显微镜工作原理及构造

10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造

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工作原理电子枪从电子枪阴极发出的电对中线圈子束，受到阴阳极之间加速电压的作用，射向镜筒第一聚光镜经过聚光镜和物镜聚焦后形成一个具有一定能量、第二聚光镜扫描发强度和斑点直径的入射电CRT生器扫描线圈子束。在物镜上部扫描线CRT圈产生的磁场作用下，入物镜射电子束按一定时间空间消像散顺序作光栅式扫描。由于检测入射电子与样品之间的相互作用，从样品中激发出真空视频放大的信号被不同的检测器收图4扫描电子显微镜成像原理图集并成像

一、工作原理 从电子枪阴极发出的电 子束，受到阴阳极之间加 速电压的作用，射向镜筒。 经过聚光镜和物镜聚焦后， 形成一个具有一定能量、 强度和斑点直径的入射电 子束。在物镜上部扫描线 圈产生的磁场作用下，入 射电子束按一定时间空间 顺序作光栅式扫描。由于 入射电子与样品之间的相 互作用，从样品中激发出 的信号被不同的检测器收 集并成像

入射电子束二次电子背散射电子俄歇电子吸收电子样品透射电子电子束轰击固体发生的各种信号及深度

二、构造与主要性能电子光学系统偏转系统信号检测放大系统构造图像显示和记录系统电源系统真空系统等主要性能：放大倍数、分辨率和景深

二、构造与主要性能 •电子光学系统 •偏转系统 •信号检测放大系统 •图像显示和记录系统 •电源系统 •真空系统等 主要性能：放大倍数、分辨率和景深 构造

第一量小交义截班30m电子枪(镜筒）(1) 电子光学系统固定光栏作用：将来自电子枪第一豫光镜第二最小交叉裁斑~3μm的电子束聚焦成亮度周定光栏高、直径小的入射束第二光镜（直径一般为10nm或第三最小交叉粮斑~0.3um更小）来轰击样品，上偏转线圈第三聚光镜使样品产生各种物理下偏转线圈未光栏信号。样品图10-2电子光学系统示意图

作用：将来自电子枪 的电子束聚焦成亮度 高、直径小的入射束 （直径一般为10nm或 更小）来轰击样品， 使样品产生各种物理 信号。 (1)电子光学系统（镜筒）

(2)电子枪扫描系统对中线圈组成：扫描发生器和扫描线圈第一聚光镜作用：第二聚光镜扫描发CRT1）入射电子束在样品表生器扫描线圈CRT面扫描，并使阴极射线物镜消像散显像管电子束在荧光屏检测上作同步扫描：真空视频放大2②改变扫描像放大倍数图4扫描电子显微镜成像原理图

组成：扫描发生器和扫 描线圈 作用： 1)入射电子束在样品表 面扫描，并使阴极射线 显像管电子束在荧光屏 上作同步扫描； 2)改变扫描像放大倍数。 (2) 扫描系统

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