中国科学技术大学:《束流光学》课程教学资源(PPT课件讲稿)第五章 宽束和强流电子学简介
电子光学 束流传输理论 低能电子 高能粒子 细束和弱流 宽束和强流 束流传输元件和 对应的传输矩阵 电子在轴对称 宽束和强流 场中的运动 电子光学 非轴对称电 组合系统设计 轴对称电子透镜 子光学器件
低能电子 高能粒子 细束和弱流 宽束和强流 电子在轴对称 场中的运动 轴对称电子透镜 非轴对称电 子光学器件 宽束和强流 电子光学 电子光学 束流传输理论 束流传输元件和 对应的传输矩阵 组合系统设计
第5章宽束和强流电子学简介 ·5.1宽电子束及聚焦成像 ·5.2强流中的空间电荷效应 ·5.3强流电子束的成形和维持 3
3 第5章 宽束和强流电子学简介 • 5.1 宽电子束及聚焦成像 • 5.2 强流中的空间电荷效应 • 5.3 强流电子束的成形和维持
回顾 平面对称偏转系统 以u代 单位多用 m1.方程可 △u 1∂V 当u=x时, 。偏转出口 2Vaxi Zo ZL 屏坐标2 1av 当u=y时 2vay; 对磁偏转 G,=一B。对低能电子为 e 盛环 行偏转线圈 6 场偏转线圈
6 回顾 z0 zL zs L Δu 屏坐标 偏转出口 Ls
回顾 平面对称四极透镜 综合上述讨论,在采用的各种假设条件下,四极透镜中粒子的 运动方程是 u+Fu=0 式中,u代表x或y;F.的量纲是L2,单位多用m2. 对于静电四极透镜F,=Y Poax2 对低能电子F Va Vea 对于磁四极透镜 F-ge B 对低能电子F.≈ 2e poNI P ax VmV。a2 无论何种透镜,恒有F,=一Fx 1等位线V 2 电力线E
7 回顾 电力线E 等位线V
为使书写简洁,以下借用参数k=VF.上述四极透镜对应 的u方向传输矩阵是 u n12 其中,矩阵元 Pu' m21 22 Pu' cos(kL) (F.>0) m11 m2 cos(kL) sin(kL (F.=0) F>0 P m21 m22 ch(kL) (F40) F.=0 (F.=0) mi m12 1e1=30 Pksh(kL) (F.0) F<0 m 12 cosh(kL) n(侧] < (F。=0) 1m21 1m22 Pksinh(kL) cosh (kL) pgsh(L (F.<0) 式中,P是透镜所在等位区对应的粒子等效动量,此时物方、像方 等位,P。=P.对于到工作区内任一点之的传输矩阵,只要将式中 L用之一乙替换即可」
( ) ( ) ( ) ( ) 11 12 21 22 1 cos sin sin cos m m kL kL Pk m m Pk kL kL = − 11 12 21 22 1 0 1 L m m P m m = ( ) ( ) ( ) ( ) 11 12 21 22 1 cosh sinh sinh cosh m m kL kL Pk m m Pk kL kL =
前4章的内容基本上皆属王弱流细束电子光学范畴,未涉及 宽策电子光学器件和强流电子束.本章将对这两个领域特有的问 题作一简介. 5.1宽电子束及其聚焦成像 偏转线圈 光敏靶 电子枪 为射再 阴极 器 RL 电视信号 “透 图摄像管成像原理
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