《机械工程测试技术》课程教学资源（技术问答）07、电容式传感器_02、电容式传感器有哪几种型式

2、电容式传感器有哪几种型式？各有何特点？分别可用于哪些物理量的测量？根据电容器变化的参数，电容式传感器可以分为三种型式：改变极板距离d的变间隙式（极距变化型）；改变极板面积s的变面积式（面积变化型）；改变介质介电常数?的变介电常数式（介质变化型）。1）极距变化型优点：可进行动成非接触测量，对被测系统的影响小；灵敏度高；适用于较小线位移（0.01um~数百微米）的测量。缺点：有线性误，传感器的杂散电容也对灵敏度和测量精确度有影响；与传感器配合使用的电子线路也比较复杂由于这些缺点，其使用范围受到一定限制。2）面积变化型。优点：是输出与输入成线性关系，具有充许输入的直线位移范围大和灵敏度K为常数等优点。但与极距变化型相比，灵敏度较低。适用于较大直线位移及角位移的测量。3）介质变化型。优点：具有线性输入输出特征。可进行一些特殊量的测量，也可用来测量空气的温度、物质中的含水量、非导电材料的厚度、非金属材料涂层等

2、电容式传感器有哪几种型式？各有何特点？分别可用于哪些物理 量的测量？ 根据电容器变化的参数，电容式传感器可以分为三种型式：改变 极板距离 d 的变间隙式（极距变化型）；改变极板面积 S 的变面积式（面 积变化型）；改变介质介电常数  的变介电常数式（介质变化型）。 1）极距变化型 优点：可进行动成非接触测量，对被测系统的影响小；灵敏度高； 适用于较小线位移（ 0.01m ~数百微米）的测量。 缺点：有线性误，传感器的杂散电容也对灵敏度和测量精确度有 影响；与传感器配合使用的电子线路也比较复杂。 由于这些缺点，其使用范围受到一定限制。 2）面积变化型。 优点：是输出与输入成线性关系，具有允许输入的直线位移范围 大和灵敏度 K 为常数等优点。 但与极距变化型相比，灵敏度较低。适用于较大直线位移及角位 移的测量。 3）介质变化型。 优点：具有线性输入输出特征。可进行一些特殊量的测量，也可用来 测量空气的温度、物质中的含水量、非导电材料的厚度、非金属材料 涂层等