电子科技大学：《薄膜晶体管原理与技术》课程教学资源（课件讲稿）第9章 柔性薄膜晶体管技术

电子特技女学光电科学与工程学院 SCHOOL OF OPTOELECTRONIC SCIENCE AND ENGINEERING OF UESTC 第9章柔性薄膜晶体管技术

第9章 柔性薄膜晶体管技术

目录 简介 9.1柔性基板技术 9.3柔性TFT的特性 9.1.1玻璃基板 9.3.1柔性TFT的力学特性 9.1.2超薄玻璃 9.3.2柔性基板上TFT的自热特性 9.1.3超薄金属箔片 9.4柔性TFT的制造技术 9.1.4塑料基板 9.4.1柔性TFT的转移技术 9.2薄膜封装技术 9.4.2柔性TFT的直接制造技术 9.2.1薄膜封装的意义与性能要求 9.4.3R2R制造技术 9.2.2薄膜封装材料、结构和工艺 9.2.3薄膜封装的渗透率表征 9.2.4薄膜封装机理

目录 简介 9.1 柔性基板技术 9.1.1 玻璃基板 9.1.2 超薄玻璃 9.1.3 超薄金属箔片 9.1.4 塑料基板 9.2 薄膜封装技术 9.2.1 薄膜封装的意义与性能要求 9.2.2 薄膜封装材料、结构和工艺 9.2.3 薄膜封装的渗透率表征 9.2.4 薄膜封装机理 9.3 柔性TFT的特性 9.3.1 柔性TFT的力学特性 9.3.2 柔性基板上TFT的自热特性 9.4 柔性TFT的制造技术 9.4.1 柔性TFT的转移技术 9.4.2 柔性TFT的直接制造技术 9.4.3 R2R制造技术

简介 ·显示技术的发展趋势 1930 1954 Colour,size1990 2010 Thinness Flexibility Power ·柔性电子的定义 Integration sIze Size 3D and Reduction Portability Quality and Large Size Interactivity ·柔性电子器件的特殊优势 柔性TFT技术性能对比 基板厚度(m) 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7+ 未来需求 2 电子纸 轻便的 发展中 LCD或 3 OLED显示 笔记本及 商业化 屏以及触 移动设备 4 摸屏 用显示屏 或触摸屏 笔记本、 监视器和 TV的轻便 TW、台式 6 化 监视器用 玻璃的典 型厚度 8+

简介 • 显示技术的发展趋势 • 柔性电子的定义 • 柔性电子器件的特殊优势 • 柔性TFT技术性能对比 显示器生产线的代数 基板厚度(mm) 电子纸 轻便的 LCD或 OLED显示 屏以及触 摸屏 笔记本及 移动设备 用显示屏 或触摸屏 TV、台式 监视器用 玻璃的典 型厚度 未来需求 发展中 商业化 笔记本、 监视器和 TV的轻便 化

根据应用分为4个层次的含义 1.超薄耐用平板电子器件，如各种便携式显示装置； TRADITIONAL 2.超薄曲面电子器件； RIGID TFT 3.超薄可弯曲电子器件，如智能卡； 4.超薄高柔韧性电子器件，如可以卷曲、可以穿戴的显示器 POLYERA TRADITIONAL TFT POLIERA TET POLYERA FLEXIDLE TFT -FLEXIBLE"ELECTRONICS POLYERA TRULY FLEXIBLE TECHNOLOGY TRANSISTOR ARRAY TRANSISTOR ARRAY PLASTIC PLASTIC DUD FRONTPLANE POLYERA BACEPLANE

根据应用分为4个层次的含义 1. 超薄耐用平板电子器件，如各种便携式显示装置； 2. 超薄曲面电子器件； 3. 超薄可弯曲电子器件，如智能卡； 4. 超薄高柔韧性电子器件，如可以卷曲、可以穿戴的显示器

柔性电子器件的特殊优势 (1)可以制作在多种类型的基板上，包括塑料膜、金属箔片、以及超薄玻璃等， 具有柔韧性； (2)重量轻，具有很薄的外形； (3)由于柔性电子器件使用的基板柔韧性很好，因而一般不易破损，耐冲击， 与玻璃基板相比更加耐用； (4)制造成本更低

柔性电子器件的特殊优势 (1)可以制作在多种类型的基板上，包括塑料膜、金属箔片、以及超薄玻璃等， 具有柔韧性； (2)重量轻，具有很薄的外形； (3)由于柔性电子器件使用的基板柔韧性很好，因而一般不易破损，耐冲击， 与玻璃基板相比更加耐用； (4)制造成本更低

柔性TFT技术性能对比 LTPS Oxide a-Si Organics Comparison of TFT Technologies make.beleve Size 5 a-Si organic LTPS oxide TFT TFT Transparency Flexibility mobility (cm2/Vs) ~400 ~300 On-pixel processing Radar chart showing the technological suitability of different backplane technologies for sustaining megatrends in the display industry

柔性TFT技术性能对比 Radar chart showing the technological suitability of different backplane technologies for sustaining megatrends in the display industry

9.1柔性基技术 面板代数 投产时间 玻璃基板尺寸 经济切割尺寸 第一家量产厂商 玻璃基板 1代线 1991年10月 320×400mm 8英寸4片 夏普 2代线 1994年2月 370×470mm 10英寸4片 NEC ·超薄玻璃 2.5代线 1994年8月 410×520mm 11英寸4片 夏普 3代线 1996年5月 550×650mm 12英寸6片 DTI ·超薄金属箔片 3.5代线 1997年11月 600×720mm 14英寸6片 LG 4代线 2000年9月 680×880mm 17英寸6片 夏普 ·塑料基板 4.5代线 2000年10月 730×920mm 18英寸4片 三星 5代线 2002年5月 1000×1200mm 27英寸6片 LG 6代线 2004年1月 1500×1850mm 37英寸6片 夏普 7代线 2005年4月 1870×2200mm 40英寸8片 三星 75代线 2006年1月 1950×2250mm 47英寸6片 LG 8代线 2006年8月 2160×2460mm 52英寸6片 夏普 8.5代线 2007年8月 2200×2500mm 55英寸6片 三星 10代线 2009年10月 2880×3130mm 65英寸6片 夏普

9.1 柔性基板技术 • 玻璃基板 • 超薄玻璃 • 超薄金属箔片 • 塑料基板 面板代数 投产时间 玻璃基板尺寸 经济切割尺寸 第一家量产厂商 1代线 1991年10月 320×400mm 8英寸4片 夏普 2代线 1994年2月 370×470mm 10英寸4片 NEC 2.5代线 1994年8月 410×520mm 11英寸4片 夏普 3代线 1996年5月 550×650mm 12英寸6片 DTI 3.5代线 1997年11月 600×720mm 14英寸6片 LG 4代线 2000年9月 680×880mm 17英寸6片 夏普 4.5代线 2000年10月 730×920mm 18英寸4片 三星 5代线 2002年5月 1000×1200mm 27英寸6片 LG 6代线 2004年1月 1500×1850mm 37英寸6片 夏普 7代线 2005年4月 1870×2200mm 40英寸8片 三星 7.5代线 2006年1月 1950×2250mm 47英寸6片 LG厂 8代线 2006年8月 2160×2460mm 52英寸6片 夏普 8.5代线 2007年8月 2200×2500mm 55英寸6片 三星 10代线 2009年10月 2880×3130mm 65英寸6片 夏普

the new transparent tesa barrier tapes can be processed safely and quickly by using roll-to-roll techniques ultra-thin glass that is only 25 to 150 microns 0都 Flexibility will impact many areas of life in the future.Besides using OLED modules in different types of displays,flat "warm,"glarefree light will soon no longer be a utopia in foldable or rollable screens

ultra-thin glass that is only 25 to 150 microns Flexibility will impact many areas of life in the future. Besides using OLED modules in different types of displays, flat “warm,” glarefree light will soon no longer be a utopia in foldable or rollable screens. the new transparent tesa barrier tapes can be processed safely and quickly by using roll-to-roll techniques

下拉法工艺 玻璃熔制 ·生产数百万平方的超薄玻璃（25-210μm), 应用于生物技术，触控和传感器领域 辊轮 退火炉 辊轮 玻璃

• 生产数百万平方的超薄玻璃（25 - 210 µm)， 应用于生物技术，触控和传感器领域

超薄玻璃的水氧阻隔性质 100 20 um PVA 100 um PET 尺寸及公差 厚度 25,30,50,70,100,145,175,210μm 个 10 20 um PVDC镀膜PET 方片大小 最大500x500mm2 O 100 um PEN 圆片大小 50,100,150,200and300mm☑ 表面粗糙

尺寸及公差 厚度 25, 30, 50, 70, 100, 145, 175, 210 μm 方片大小 最大 500 x 500 mm² 圆片大小 50, 100, 150, 200 and 300 mm Ø 表面粗糙 度Ra < 1 nm 平整度TTV ≤ 5 μm 厚度公差 ± 10 μm 尺寸公差 ± 200 μm