川北医学院：《生物医学工程导论》课程教学资源（课件讲稿）12 微机械电子系统技术在生物医学工程中的应用（Micro Electro Mechanical System，MEMS）

生物医学工程导论 第十七章MEMS技术在 生物医学工程中的应用

第十七章 MEMS技术在 生物医学工程中的应用 生物医学工程导论

MEMS简介

MEMS简介

Wiⅱ健身运动 游戏很好玩， 工作原理是什么？ Wii

Wii 健身运动 游戏很好玩， 工作原理是什么？

doo 触摸屏是怎么感知的？ SONY ThinkPad 到 k图 如)面脸长

触摸屏是怎么感知的？

Sony Ericsson 摇晃你的手机 别疆胡 传感器 3268 00000 益物：增有列 00000 HDK 326A X ￥00000 A

使用者翻动手机选择“响铃” 或“震铃”； 摇晃手机变换不同的铃声和 游戏； 音乐和壁纸随着人们的动作 而变化。 摇晃你的手机 传感器

Chunlan 身边的传感器 CCD 热敏电阻 Nitcom 4周 BlackBerry 1221mmMY25 1 Mea好s(3朝 愁里园 7110 ZAAA 温控器 传声器

身边的传感器 CCD 热敏电阻 温控器 传声器

9/5"80配 ON/OFF UT 33.2r 温度开关 G里 DOWN ELECTRONIC THERMOMETER 出 力传感器

力传感器 温度开关

的防代 发 实验室的 传感器 压强长感器 十”○骚代提圈

实验室的 传感器

传感器的微型化 人类社会的全面信息化，使得信息系统正朝 着微型化、多功能化和智能化的方向迅速发展。 随着微电子技术的进步，微处理器、存储器 等电子器件日益微型化，而传感器、执行器的 微型化程度却远远落后，成了信息系统微型化 的“瓶颈” 将传感器、微处理器、执行器合为一体，构 成微电子机械系统，是人们很久的愿望。 于是，“MEMS技术”应运而生

传感器的微型化 人类社会的全面信息化，使得信息系统正朝 着微型化、多功能化和智能化的方向迅速发展。 随着微电子技术的进步，微处理器、存储器 等电子器件日益微型化，而传感器、执行器的 微型化程度却远远落后，成了信息系统微型化 的“瓶颈” 。 将传感器、微处理器、执行器合为一体，构 成微电子机械系统，是人们很久的愿望。 于是， “MEMS 技术”应运而生

Micro Electro Mechanical System MEMS是“微机械电子系统”的英文缩写。 微机电系统且立更一 将微型 传感器、微 机械部分能够 的处理 电路集成 微型化吗？ 集成电路内部结构

Micro Electro Mechanical System 集成电路内部结构 MEMS是“微机械电子系统”的英文缩写。 微机电系统是采用微机械加工技术，将微型 传感器、微型执行器、微型机构和相应的处理 电路集成在一起的微型器件或微型系统 机械部分能够 。 微型化吗？