广西机电工程学校:《传感器原理与技术》课程教学资源(课件讲稿)项目五 位移检测、速度和加速度检测 16.1 光栅位置传感器的工作原理与应用
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光栅 物理光栅 计量光栅
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物理光栅 衍射现象 光谱分析 光波长等量的测量
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计量光栅 位移 加速度 速度 振动 莫尔现象
计量光栅 莫尔现象 位移 速度 加速度 振动

光栅位置传感器的工作原理与应用
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指示光橱 标尺光橱 光栅式传感器 光电式传感器 莫尔条纹
光栅式传感器 光电式传感器 莫尔条纹

结构原理简单 测量精度高 测量元件
测量元件 结构原理简单 测量精度高

数控机床 精密定位 长度 速度 加速度 振动测量
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光栅位置传感器的工作原理
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主光栅 光敏元件 光源 驱动电路 聚光透镜 指示光栅 图5-3-4光栅位置传感器的结构
图5-3-4 光栅位置传感器的结构

主光栅 光敏元件 光源 : 驱动电路 聚光透镜 指示光椰 图5-3-4光栅位置传感器的结构
图5-3-4 光栅位置传感器的结构
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