《特种加工》课程教学资源（PPT课件讲稿）第四讲 微细加工概述、电火花加工

微细加工 微细加工概述 1微细加工出现的历史背景 2微细加工的概念及特点 3微细加工机理 4微细加工方法 BACK

微细加工 微细加工概述 1.微细加工出现的历史背景 2.微细加工的概念及特点 3.微细加工机理 4.微细加工方法

微细加工 微细加工出现的历史背景 1精密机械仪器仪表零件的微细加工 2电子设备微型化和集成化的需求 3大规模集成电路的制作技术

微细加工 1.精密机械仪器仪表零件的微细加工 2.电子设备微型化和集成化的需求 3.大规模集成电路的制作技术 微细加工出现的历史背景

微细加工 六英寸的飞机

微细加工 六英寸的飞机

微细加工 44克的小飞机 OE

微细加工 44克的小飞机

微细加工 六英寸直升机(HR-1)1

微细加工 六英寸直升机（HR-1)_1

微细加工 微型涡喷发动机1

微细加工 微型涡喷发动机_1

微细加工 微型涡喷发动机2

微细加工 微型涡喷发动机_2

微细加工 大小:5×5×10mm

微细加工 大小：5×5 ×10mm

微细加工 微细加工的概念 微细加工技术是指微小尺寸零件的生产加工技术。从广 义的角度来说,微细加工包括:切削加工、磨料加工、电 火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微浪加工 等离子加工、外延生长、激光加工、电子束加工、离子束 加工、光刻加工、电铸加工等。从狭义的角度来说,微细 加工主要是指半导体集成电路制造技术。 它是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的, 是大规模集成电路和计算机技术的基础,是信息时代、微 电子时代、光电子时代的关键制造技术之 在微细加工时,由于加工尺寸很小,精度是用去除材料 大小的绝对值来表示,引入了加工单位尺寸的概念。加工 单位尺寸简称加工单位,它表示去除材料的大小,例如: 原子加工单位表示能去除一个原子

微细加工 微细加工的概念 微细加工技术是指微小尺寸零件的生产加工技术。从广 义的角度来说，微细加工包括：切削加工、磨料加工、电 火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微波加工、 等离子加工、外延生长、激光加工、电子束加工、离子束 加工、光刻加工、电铸加工等。从狭义的角度来说，微细 加工主要是指半导体集成电路制造技术。 它是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的， 是大规模集成电路和计算机技术的基础，是信息时代、微 电子时代、光电子时代的关键制造技术之一。 在微细加工时，由于加工尺寸很小，精度是用去除材料 大小的绝对值来表示，引入了加工单位尺寸的概念。加工 单位尺寸简称加工单位，它表示去除材料的大小，例如： 原子加工单位表示能去除一个原子

微细加工 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 般尺寸加工时,精度是用加工误差与加工尺寸的比值来 表示的。在微细加工时,精度是用尺寸的绝对值来表示的 2微观机理 般加工允许的吃刀量比较大,切屑比较大;微细加工 由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量,切屑很小。当吃刀 量小于材料晶粒直径时,切削就得在晶粒內进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征,微细加 工却以分离或结合原子、分子为加工对象,以电子束、离子 束、激光束三束加工为基础,采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀 等手段进行各种处理

微细加工 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 一般尺寸加工时，精度是用加工误差与加工尺寸的比值来 表示的。在微细加工时，精度是用尺寸的绝对值来表示的。 2.微观机理 一般加工允许的吃刀量比较大，切屑比较大；微细加工， 由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量，切屑很小。当吃刀 量小于材料晶粒直径时，切削就得在晶粒内进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征，微细加 工却以分离或结合原子、分子为加工对象，以电子束、离子 束、激光束三束加工为基础，采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀 等手段进行各种处理