《材料测试技术及方法》课程教学资源（讲稿）-课件ppt_第三篇 1-TEM

第三篇电子显微分析

电子显微分析 第三篇 S D U T

主要内容第九章透射电子显微分析第十章扫描电子显微分析电子探针X射线显微分析

第九章 透射电子显微分析 第十章 扫描电子显微分析 电子探针X射线显微分析 主要内容 S D U T

电子显微分析·电子显微分析：依据电子束（波）与材料的相互作用而建立的各种材料现代分析方法·电子显微分析方法以材料微观形貌、结构与成分分析为基本目的

电子显微分析 • 电子显微分析：依据电子束（波）与材料的 相互作用而建立的各种材料现代分析方法。 • 电子显微分析方法以材料微观形貌、结构 与成分分析为基本目的。 S D U T

显微镜的发明打开了微观世界的大门1932年，德国科学家Ruska研制第一台透射电子显微镜aM瑞品胎型光罐光黑光学显微镜透射电子显微镜电子显微镜可以看到单个原子，分辨率在0.1nm以电子束做为照明束

显微镜的发明打开了微观世界的大门 1932年，德国科学家Ruska研 制第一台透射电子显微镜 光学显微镜 透射电子显微镜 电子显微镜可以看到单 个原子，分辨率在0.1nm, 以电子束做为照明束。 S D U T

电子显微分析(TEM)透射式电子显微镜(SEM)扫描式电子显微镜(STM)隧道式扫描电子显微镜(TSEM)透射扫描电子显微镜超高压透射扫描电子显微镜JEM-ARM1250超高压透射电子显微镜CM120大型仪器日本電子

电 子 显 微 分 析 透射式电子显微镜（TEM）★ 扫描式电子显微镜（SEM）★ 隧道式扫描电子显微镜（STM） 透射扫描电子显微镜（TSEM） 超高压透射扫描电子显微镜 大型仪器 S D U T

第九章(TEM)透射电子显微分析0.透射电子显微技术基础1.原理★2.仪器构造★3.成像操作和像衬度4.样品制备★T5.应用

第九章 透射电子显微分析（TEM） 0.透射电子显微技术基础 1.原理★ 2.仪器构造 ★ 3.成像操作和像衬度 ★ 4.样品制备 ★ 5.应用 S D U T

回顾：在各种电子信号透射电子显微技术基础基础上发展起来的检测技术见P47：表3-1入射电子流Lo:透射电子流IT背散射电子流R二次电子流X射线辐射样品吸收电流表面元素发射强度LE入射电子束与固体作用产生的发射现象

入射电子束与固体作用产生的发射现象 回顾：在各种电子信号 基础上发展起来的检测 技术见P47：表3-1 透射电子显微技术基础 S D U T

入射电子束当电子束与样品相互作用时，99%以上的反射电子二次电子入射电子能量转化为吸收电子热能，余下1%能量用于产生各类电子信息非弹性散射电子弹性散射电子直接透射电子透射电子电子束与材料作用产生的电子信号透射电镜入射电子束能量利用透射电子通过磁透镜100keV-1MeV原理成像的电镜技术，简称为透射电镜。弹性散射电子非弹性散射电子Transmittance Electron直接透射电子TEMMicroscopy

电子束与材料作用产生的电子信号 透射电子 入射电子束能量 100keV-1MeV S D U T

入射电子在晶体内，发生两类电子散射，一类相干散射（弹性散射），一类是非相干散射（非弹性行散射）。相干散射电子，遵从布拉格方程，形成衍射花斑或环；非相干散射，导致晶体内出现沿空间所有方向传播的电子波，形成衍射花样的背景强度·原子核对入射电子的散射是弹性散射·核外电子对入射电子的散射是非弹性散射原子核对电子的弹性散射，是透射电镜中成像和衍射的基础。（P47：表3-1)

• 原子核对入射电子的散射是弹性散射 • 核外电子对入射电子的散射是非弹性散射 原子核对电子的弹性散射，是透射电镜中成像 和衍射的基础 。（P47：表3-1） • 入射电子在晶体内，发生两类电子散射，一类相干散 射（弹性散射），一类是非相干散射（非弹性行散射）。 相干散射电子，遵从布拉格方程，形成衍射花斑或环； 非相干散射，导致晶体内出现沿空间所有方向传播的电 子波，形成衍射花样的背景强度。 S D U T

成像1.原理·成像原理与光学显微镜类似电子波长极短高的像分辨本领产生衍射现象结构分析（与物质作用产生的衍射遵从布拉格方程）

• 成像原理与光学显微镜类似 （与物质作用产生的衍射遵从布拉格方程） 电子波长极短 高的像分辨本领 产生衍射现象 结构分析 1.原理 成 像 S D U T