《超高真空技术及其应用》 课程内容

超高真空技术及其应用 课程代码:319.145.1 课程性质:专业选修课 学分 周学时:2 课程内容: 第一章真空的基本概念和基本理论 .真空的基本概念 1.表示真空度的压强单位 2.真空区域的划分 稀薄气体的基本性质 气体性质的宏观参量 2.气体性质的微观参量 三.真空环境下气体的输运现象 1.输运现象 2.输运机理和真空度的关系 3.分子态时的输运现象 第二章超高真空的获得 真空泵的基本概况 1.真空泵性能的主要指标 2.真空泵的基本类型 扩散泵 1.结构 2.工作原理 3.基本性能 4.设计和使用的注意事项 溅射离子泵 1.二极型溅射离子泵 2.溅射离子泵的工作特性 四.涡轮分子泵 1.涡轮分子泵的分类和工作原理 2.有关涡轮分子泵理论的简介 五.钛升华泵和低温冷凝泵 1.表面吸附 2.钛升华泵 3.低温冷凝泵 六.粗抽泵和前级泵 1.旋片机械泵 2.干泵 3.低温(77K)吸附泵 七.超高真空机组 八.抽气时间

超高真空技术及其应用 课程代码:319.145.1 课程性质:专业选修课 学分: 2 周学时:2 课程内容: 第一章 真空的基本概念和基本理论 一．真空的基本概念 1． 表示真空度的压强单位 2． 真空区域的划分 二．稀薄气体的基本性质 1． 气体性质的宏观参量 2． 气体性质的微观参量 三． 真空环境下气体的输运现象 1． 输运现象 2． 输运机理和真空度的关系 3． 分子态时的输运现象 第二章 超高真空的获得 一．真空泵的基本概况 1． 真空泵性能的主要指标 2． 真空泵的基本类型 二．扩散泵 1． 结构 2． 工作原理 3． 基本性能 4． 设计和使用的注意事项 三．溅射离子泵 1． 二极型溅射离子泵 2． 溅射离子泵的工作特性 四．涡轮分子泵 1． 涡轮分子泵的分类和工作原理 2． 有关涡轮分子泵理论的简介 五．钛升华泵和低温冷凝泵 1． 表面吸附 2． 钛升华泵 3． 低温冷凝泵 六．粗抽泵和前级泵 1． 旋片机械泵 2． 干泵 3． 低温（77K）吸附泵 七．超高真空机组 八．抽气时间

第三章真空状态下的气体流动 气体流动过程的基本物理量 体积流速 2.流量 3.流阻后流导 真空条件下气流的基本状态和判据 1.湍流 2.粘滯流 3.分子流 三.流导的计算 粘滯流状态的流导 2.分子流状态的流导 四.流阻对抽速的影响 第四章用于超高真空系统的材料和部件 材料选择的基本考虑 气体在固体中的溶解 三.渗透 四.出气 五.表面蒸发 六.超高真空系统中常用的材料 七.不宜用于超高真空系统中的材料 八.真空卫生 九.超高真空系统的部件 第五章真空的测量 绝对真空规 相对真空规 1.热导真空规 2.电离真空规 第六章残气成分分析和真空捡漏技术 残气成分分析 真空捡漏技术

第三章 真空状态下的气体流动 一．气体流动过程的基本物理量 1． 体积流速 2． 流量 3． 流阻后流导 二．真空条件下气流的基本状态和判据 1． 湍流 2． 粘滯流 3． 分子流 三．流导的计算 1． 粘滯流状态的流导 2． 分子流状态的流导 四．流阻对抽速的影响 第四章 用于超高真空系统的材料和部件 一．材料选择的基本考虑 二．气体在固体中的溶解 三．渗透 四．出气 五．表面蒸发 六．超高真空系统中常用的材料 七．不宜用于超高真空系统中的材料 八．真空卫生 九．超高真空系统的部件 第五章 真空的测量 一．绝对真空规 二．相对真空规 1． 热导真空规 2． 电离真空规 第六章 残气成分分析和真空捡漏技术 一．残气成分分析 二．真空捡漏技术