电子科技大学：《薄膜材料与技术 Thin Film Material and Technology》课程教学资源（课件讲稿）第一章 绪论（授课老师：白飞明）

薄膜材料与技术 讲授：白飞明 办公室：五号科研楼313 E-mail:fmbai@uestc.edu.cn 1966 2020年2月

薄膜材料与技术 办公室：五号科研楼313 E-mail：fmbai@uestc.edu.cn 讲授：白飞明 2020年2月

例 课程的引入

课程的引入

课程的引入 020 在日常生法中的寇用

在日常生活中的应用 课程的引入

课程的引入 film substrate 研究对象：采用物理或化学的制备方法，在特定的基板 上形成的，在某一维尺度上远小于其它二维尺度的，具有显 著尺度、表面或界面效应，可形成特殊电、磁、声、光、热 及化学/生物响应等特性的材料

课程的引入 film substrate 研究对象：采用物理或化学的制备方法，在特定的基板 上形成的，在某一维尺度上远小于其它二维尺度的，具有显 著尺度、表面或界面效应，可形成特殊电、磁、声、光、热 及化学/生物响应等特性的材料

课程的引入 冬从人类开始制作陶瓷器皿的彩釉算起，薄膜的制备与应用 已经有一千多年的发展历史。 冬从制备技术、分析方法、形成机理等方面系统地研究薄膜 材料则起始于上世纪五十年代。 冬上世纪80年代，薄膜科学才发展成为一门相对独立的学科

 从人类开始制作陶瓷器皿的彩釉算起, 薄膜的制备与应用 已经有一千多年的发展历史。  从制备技术、分析方法、形成机理等方面系统地研究薄膜 材料则起始于上世纪五十年代。  上世纪80年代, 薄膜科学才发展成为一门相对独立的学科。 课程的引入

课程的引入 特殊性 国家战略 日常生活 微观结构、宏观性能 应用推动 低维凝聚态理论 制膜技术及设备 现代微观分析技术 我们生活在”降维”时代，薄膜材料研究不仅吸引了为数众多的 科技工作者注意，而且受到各国高技术产业界的广泛关注

应用推动 课程的引入 日常生活 国家战略 特殊性 微观结构、宏观性能 我们生活在”降维”时代，薄膜材料研究不仅吸引了为数众多的 科技工作者注意, 而且受到各国高技术产业界的广泛关注。 低维凝聚态理论 制膜技术及设备 现代微观分析技术

DARPA 美国DARPA电子系统发展趋势 DARPA 4 1E+12 Mechanical Vacuum tube ☐Integra 3D Integrated 0 Electro-mechanical V Discrete transistor 1E+9 Microsystems 集成电路 Cognitive processing 1E+6 真空管 晶体管 Wireles's and networled systems 1E+3 电子机械式 Embedded computation 1E+0 Signal process ng 机械式 Communications 1E-3 单片集成 1E-6 1900 1920 1940 1960 1980 2000 2020

电子机械式 真空管 晶体管 机械式 集成电路 单片集成 美国DARPA电子系统发展趋势

具体实例 intel 9th Gen Intel°Core"ig Kirin980 HIAI silicide silicide New Tri-Gate Fin Gate橱极 n+poly ppol水 新三帽极糖状物 High-k Dielectric N oxide 高K介电材科 oxide silicide silicide silicide silicide Drain 漏极 D Source punch stop punch stop 源极 p-Si well n-Si well p-Si substrate 在计算机枝术中的定用

在计算机技术中的应用 具体实例一

具体实例二 图2-2：水平记录 100 Advance中 GMR Head Spin Valve 10 Giant MR MRX Magnetoresistive 0.1 Ba心百科 Thin Filr Inductive 0.01 85 90 95 2000 2005 Year Figure 10.Magnetic head evolution 1956.9BM第一台磁盘存储系统IBM350 RAMAC,实现了随机存储，5M 实验室里已经把表示1比特所需的原子从2012年使用12个原子到今天只需要一个原子(5K)

具体实例二 1956.9 IBM 第一台磁盘存储系统IBM350RAMAC，实现了随机存储，5M 实验室里已经把表示1比特所需的原子从2012年使用12个原子到今天只需要一个原子(5K)

具体实例三 Too electode 在信息存贮枝术中的寇用

在信息存贮技术中的应用 具体实例三